差壓式氣體質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)要描述:氣體質(zhì)量流量控制器通過(guò)測(cè)量層流元件的差壓、壓力、溫度來(lái)計(jì)算流量。 將計(jì)算流量值與設(shè)定流量值進(jìn)行比較,采用 PID閉環(huán)控制調(diào)節(jié)閥門(mén),使流過(guò)通道的流量與設(shè)定的流量相等。具有固有的線性,重復(fù)性好,精度高,無(wú)需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn)。為模擬和數(shù)字兼容型,可通過(guò)模擬型二次表或PLC進(jìn)行設(shè)定和顯示瞬時(shí)流量,也可以通過(guò)RS485接口直接與計(jì)算機(jī)進(jìn)行通訊。
LF-YC差壓式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):
固有的線性,精度高
穩(wěn)定性好,重復(fù)性好
可選模擬電路、數(shù)字電路
響應(yīng)速度快,無(wú)需預(yù)熱
溫漂小
產(chǎn)品用途: 廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品型號(hào) | LF420-YC | LF485-YC |
量程范圍 | 5SCCM-300SLM |
測(cè)控范圍 | 控制器50:1???????????????????流量計(jì)100:1 |
準(zhǔn) 確 度 | ±1.0% F.S |
線 ???性 | ±0.5% F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms | 100ms |
數(shù) 字 量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
模 擬 量 | DC 0-5V,4-20mA(負(fù)載< 500Ω)可選 |
供 ???電 | DC +15V/+24V可選,控制器< 200mA,流量計(jì)< 50mA |
工作溫度 | 0-50℃ |
工作壓力 | 工作壓差0.1-0.5MPa | 工作壓降 < 0.01MPa |
最大耐壓 | 1MPa |
電氣連接 | DB15 |
漏 ???率 | 1×10-8SCC/s He |
底座材質(zhì) | 316L不銹鋼或者鋁合金 |
密封材料 | 氟橡膠,丁晴橡膠,氯丁橡膠 |
氣路接頭 | 標(biāo)配Swagelok ¢6 |